반도체 현장 독성가스, 친환경 기술로 완전 분해

[경기도 경제의 힘, 히든챔피언·(11)] 영진아이엔디

대기업 비롯 해외 유명기업 협력
은탑훈장 등 매년 기술혁신 공적

영진아이엔디의 친환경 플라즈마 스크러버. /영진아이엔디 제공

2024년 스타기업 사업에 참여한 영진아이엔디는 우수한 연구진, 독보적인 기술력을 바탕으로 High-Plasma Scrubber를 개발해 유명 반도체기업으로부터 실력을 인정받았다.

1999년 설립 이후 2000년 영진아이엔디로 사명을 바꿨다. 같은 해 PLASMA SCRUBBER를 개발했고 2004년 PLASMA SCRUBBER(1PORT) 생산 및 납품을 시작했다. 2007년 44회 무역의 날 5백만불 수출탑을 수상했고 2014년엔 SK하이닉스로부터 안전관리 최우수 협력사에 선정됐다.

이어 2015년 경기도 유망중소기업 선정, 2016년 경기도 유망중소기업 선정, 2019년 은탑산업 훈장 수훈, 지난해 경기도 유망환경기업 선정에 이르기까지 해마다 발전하는 모습을 보였다.

영진아이엔디의 High-Plasma Scrubber는 SK Hynix 반도체, LG 필립스 LCD, DBHiTek 등 국내 대기업은 물론이고 중국, 대만 등 해외유명 반도체 기업에도 수출하고 있다. 주요 기술은 반도체와 LCD제조공정에서 사용되는 유해한 PFCs계 GAS를 THERMAL PLASMA를 이용하여 환경적으로 완벽하게 분해시키고 처리하는 시스템이다.



영진아이엔디의 HI-PLASMA SCRUBBER는 반도체/LCD 작업현장에서 발생하게 되는 폭발성·부식성·독성가스 뿐만 아니라, 지구 온실 가스인 PFCs계 GAS를 열플라즈마를 이용하여 완전 분해 처리 가능하다는 게 특징이다.

영진아이엔디는 기술혁신, 고객감동, 품질경영, 가족행복을 핵심 가치로 삼고 혁신 기술로 미래를 선도하는 친환경 기업을 표방한다.

영진아이엔디 측은 "우수한 연구진의 기술력을 바탕으로 세계 제일의 반도체 장비 전문기업으로 뻗어나가겠다"고 포부를 밝혔다.

/신지영기자 [e-mail]