['기술개발이 힘' 경기도 중소기업·(9)]글로셈 CNT 면상발열체

글로셈의 CNT 면상발열체는 반도체 공정에 필요한 가스배관 전체에 열을 일정하게 전달해 배관이 막히지 않도록 한다. 2021.2.23 /글로셈 제공

가스 배관 등 전체 고르게 열 전달
'전기 저항' 최소화… 효율성 높여
열 한계점 300℃ 금속섬유 연구도

겨울철 추위에 잠에서 깬 경험이 있을 것이다. 이불을 꽁꽁 덮어도 몸이 오들오들 떨릴 때 수면 양말을 신으면 차가운 공기가 금세 가신다. 숨겨져 있는 한 곳까지 따뜻하게 만들어야 다시 편하게 잠이 들 수 있다.

사람의 몸처럼 반도체 공정 과정에서 필요한 가스 배관도 틈 없이 열이 공급돼야 한다. 온도가 내려가면 가스가 응축하면서 배관 내 분말이 형성된다. 이런 과정이 반복되면 분말이 쌓여 배관 자체가 막힐 수 있다. 고온을 배관 전체에 고루 전달해 막힘 현상이 일어나지 않도록 하는 게 필수다.

글로셈은 배관 전체에 열을 전달하는 CNT(탄소나노튜브) 면상발열체를 생산하고 있다. 열선케이블로 일정 면적에만 열을 전달하는 다른 제품들과 달리 배관 전체에 열을 전달한다.



CNT는 고온을 낼 수 있고 열 전도성이 높다는 특징이 있다. 강도와 접착력도 우수하다. 글로셈이 개발한 CNT 면상발열체는 발열 균일도가 150℃ 내외다. 일정 기간 150℃에서 플러스 마이너스 15℃까지 유지할 수 있다는 의미다.

글로셈은 현장에서 요구하는 다양한 온도에 맞춘 제품뿐 아니라 다른 제품들보다 소비 전력에도 강점을 보이는 제품을 개발하고 있다. 실제 CNT 면상발열체의 경우 다른 제품과 비교했을 때 40% 정도 소비 전력 감소 효과가 있다는 게 글로셈의 설명이다. 국내 유수 반도체 기업에서 활용하는 이유이기도 하다.

글로셈은 제품의 지속성을 높이는 데도 주력하고 있다. CNT 면상발열체는 전기를 통해 열을 생산한다. 전기가 계속 통하는 만큼 전기 저항이 생길 수밖에 없는데 이를 최소화해 효율적으로 열이 전달될 수 있는 발열체 기술을 개발해냈다. 경기도 기술개발사업의 지원이 있었기에 가능한 일이었다.

CNT 면상발열체에서 글로셈은 한 걸음 더 나아가고자 한다. 열 한계점이 높은 금속 섬유 면상발열체 기술을 개발하고 있다. 글로셈 관계자는 "금속 섬유는 발열 균일도가 300℃ 내외로 열 한계점이 높다"며 "금속 섬유 면상발열체 기술 개발 중으로 이후 주력 상품으로 적용할 계획"이라고 말했다.

/남국성기자 [e-mail]

※해당 업체는 경기도와 경기도경제과학진흥원의 사업 지원을 받아 기술개발 성과를 이룬 기업입니다.